示值誤差可達（1.1+0.6L/600）um，高度測量具有出色的gao精度，並且擁有豐富的測量功能，採用gao精度反射型線性編碼器和gao精度導軌，追求更高的精度，測量可以通過圖標命令來執行，支持一鍵操作，具有豐富功能的同時追求操作的簡便性。
使用TFT液晶顯示屏，以達到良好的可視性和可操作性，全氣浮/半氣浮係統可以進行氣墊高度調整，配有連接打印機、Digimatic量具的端口外，還配備有RS-232C通信功能等豐富的接口，數據備份/恢復，工件測量程序可通過UBS存儲設備來執行（FAT16/32兼容格式）。