Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT, 抽速範圍 1200-2300 l/s 的全係列緊湊型復合軸承渦輪分子泵, 對小分子量氣體 H2, He 和大分子量氣體 Ar, CF4 都有很高的抽速. 由於這些分子泵通常在惡劣的工藝環境中使用, Pfeiffer 提供針對具體應用的定制解決方案: 例如, 用於抗腐蝕的 Kepla?涂層, 用於防止高壓區域工藝沉積的溫度管理係統, 以及在輻射下使用的外部電子設備.
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 特點
小分子氣體的高壓縮比
堅固的復合轉子懸架
對工藝沉積的抵抗力強
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體係統
可用於帶有外部電子設備的抗輻射泵
溫度管理係統
標準認證 SEMI S2, UL, CSA 和 T?V
防護等級 IP54 符合工業環境應用要求
適用於各種嚴苛工藝如刻蝕, 濺鍍, 分子泵耐粉塵
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 技術參數：
分子泵型號
分子泵連接尺寸 DN
抽速 l/s
壓縮比
高啟動壓強hPa
極限壓力
全轉速氣體流量hPa l/s
啟動時間
重量
進氣口
排氣口
氮氣
N2
氦氣
He
氫氣 H2
氮氣
N2
氮氣N2
hPa
氮氣N2
min
kg
HiPace? 1200
HiPace? 1200 U
HiPace? 1200 C
HiPace? 1200 UC
200
40
1250
1300
1100
> 1X108
2
< 1X10–7
20
2.5
27 – 40
HiPace? 1500
HiPace? 1500 U
HiPace? 1500 C
HiPace? 1500 UC
250
40
1400
1350
1150
> 1X108
2
< 1X10–7
20
2.5
29 – 41
HiPace? 1800
HiPace? 1800 U
HiPace? 1800 C
HiPace? 1800 UC
200
40
1450
1,650
1700
> 1X108
1.8
< 1X10–7
20
4
33 – 34
HiPace? 2300
HiPace? 2300 U
HiPace? 2300 C
HiPace? 2300 UC
250
40
1900
2,000
1850
> 1X108
1.8
< 1X10–7
20
4
34 – 47
HiPace? 2800 IT
HiPace? 2300 IUT
250
40
2300
2900
2600
> 1X108
1.8
< 1X10–7
18
4
62
HiPace: 憑借成熟和優化的軸承係統以及泵速和壓縮比之間的良好組合, 標準的 HiPace 分子泵適用於所有類型的應用
HiPace C: 為腐蝕性應用而設計. 得益於轉子上的 Kepla?涂層, HiPace C 分子泵對各種工藝化學品具有的抵抗力.
HiPace I: 專為離子注入工藝設計. 渦輪分子泵復雜的轉子設計使小分子氣體(氫氣)的抽速得到了優化, 確保了離子注入工藝的佳工藝適應性.鎳涂層轉子確保了分子泵的堅固性.
HiPace T: 溫度管理係統可以減少工藝沉積的數量. 通過提高高壓區的溫度, 可以減少冷凝現象. 該功能可與 C-版本（HiPace CT）相結合, 以提供對工藝化學品的耐腐蝕性以及對泵內工藝沉積的耐受性.
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 應用領域：
1. 分析儀器 2. 半導體 3. 鍍膜 4. 工業 5. 研發
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速高 90,000 rpm, 極限真空大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大係列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和幹泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>
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