Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700
上海伯東德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 700. 渦輪分子泵 HiPace 700 對氮氣抽速可達到 685 l/s, 緊湊設計, 低能耗的同時保證分子泵更高抽吸能力.
渦輪分子泵 HiPace 700 佔地面積小, 任意位置安裝. 適用於工業環境-保護等級 IP 54, 通過半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過分子泵控制器監控運算數據, 集成風冷.
渦輪分子泵 HiPace 700 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協助客戶選型並提供完善的售後維修服務.
渦輪分子泵 HiPace 700 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承係統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
渦輪分子泵 HiPace 700 技術參數
進氣口
DN 160
ISO-K
DN 160
CF-F
DN 160
ISO-F
DN 160
ISO-K
DN 160
CF-F
DN 160
ISO-F
圖片
分子泵控制器
型號
標配
TC 400
標配
TC 400
標配
TC 400
選配
TCP 350
選配
TCP 350
選配
TCP 350
抽速
Ar L/S
665
665
665
665
665
665
H2 L/S
555
555
555
555
555
555
He L/S
655
655
655
655
655
655
N2 L/S
685
685
685
685
685
685
壓縮比
Ar
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
H2
4X105
4X105
4X105
4X105
4X105
4X105
He
3X107
3X107
3X107
3X107
3X107
3X107
N2
>1X1011
>1X1011
>1X1011
>1X1011
>1X1011
>1X1011
全轉速時氣體流量
Ar hPa l/s
3.5
3.5
3.5
1.5
1.5
1.5
H2 hPa l/s
>14
>14
>14
>8
>8
>8
He hPa l/s
20
20
20
5
5
5
N2 hPa l/s
6.5
6.5
6.5
3
3
3
極限壓力
hPa
＜1X10-7
＜5X10-10
＜1X10-7
＜1x10-7
＜5x10-10
＜1x10-7
大預抽真空
N2 hPa
11
11
11
11
11
11
電壓
± 5 %
VDC
48
48
48
48
48
48
大電流
A
8.4
8.4
8.4
8.75
8.75
8.75
轉速± 2 %
RPM
49200
49200
49200
49200
49200
49200
聲噪
dB(A)
50
50
50
50
50
50
允許大磁場
mT
6
6
6
6
6
6
啟動時間
min
2
2
2
5.5
2.5
2.5
重量
kg
11.5
17.4
12.1
10.6
16.5
10.6
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
* P 係列: 耐粉塵
* PLUS 係列: 極微振動,雜散磁場低
* H 係列: 更高的壓縮比,尤其適用於輕質氣體
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 700 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下並輕松調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:
分子泵
分子泵電源與控制器連接線
風扇
OmniControl 400
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
標準款渦輪分子泵 HiPace 700 在售型號
對所有氣體的高抽吸能力和更高壓縮,適合所有標準應用
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
資料下載
DN 160 ISO-F
TC 400
RS-485, 遠程, Profibus
-
中文 PDF
DN 160 CF-F
TC 400
RS-485, 遠程, Profibus
-
中文 PDF
DN 160 ISO-K
TC 400
RS-485, 遠程, Profibus
中文 PDF
DN 160 ISO-F
另配 TCP 350
-
-
中文 PDF
DN 160 CF-F
另配 TCP 350
-
-
中文 PDF
DN 160 ISO-K
另配 TCP 350
-
-
中文 PDF
DN 160 ISO-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
中文 PDF
DN 160 CF-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
中文 PDF
DN 160 ISO-K
TC 400
RS-485, 遠程
-
中文 PDF
DN 160 ISO-F
TC 400
RS-485, 遠程
是
中文 PDF
DN 160 CF-F
TC 400
RS-485, 遠程
是
中文 PDF
DN 160 ISO-K
TC 400
RS-485, 遠程
是
中文 PDF
耐粉塵渦輪分子泵 HiPace 700P 在售型號
適用於鍍膜及半導體工藝以及諸如電子束焊接裝置等易受灰塵影響的工業應用
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
資料下載
DN 160 ISO-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
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DN 160 CF-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
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DN 160 ISO-K
TC 400
RS-485, 遠程
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低振動渦輪分子泵 HiPace 700 PLUS 在售型號
極微振動,雜散磁場低,適用於高要求分析設備,例如電子顯微鏡
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
資料下載
DN 160 ISO-K
TC 400
RS-485, 遠程
-
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DN 160 CF-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
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DN 160 ISO-F
TC 400
RS-485, 遠程
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更高壓縮比渦輪分子泵 HiPace 700 H 在售型號
更高的壓縮比,尤其適用於輕質氣體,實現真空
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
資料下載
DN 160 ISO-K
TC 400
RS-485, 遠程
-
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DN 160 CF-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
中文 PDF
DN 160 ISO-F
TC 400
RS-485, 遠程
-
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DN 160 ISO-K
另配 TCP 350
-
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DN 160 CF-F
另配 TCP 350
-
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DN 160 ISO-F
另配 TCP 350
-
-
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渦輪分子泵應用 HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學鍍膜, 硬質涂層
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
分析儀器: 質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
半導體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速範圍 10 至 2700 L/S, 轉速高 90,000 rpm, 極限真空大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大係列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和幹泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>
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