Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達 1250 l/s 的渦輪分子泵. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用於工業環境, 通過保護等級 IP54. 通過控制器, 監控運算數據盡可能的保證分子泵的性. 渦輪分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 渦輪分子泵 HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠程遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）, 多種配件供客戶選擇.
渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, T徂V 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
監控運算數據盡可能的保證分子泵的性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體係統
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200 技術規格
型號
HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K
HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F
HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F
Ar 壓縮比
>1X108
>1X108
>1X108
H2 壓縮比
6X103
6X103
6X103
He 壓縮比
2X104
2X104
2X104
N2 壓縮比
>1X108
>1X108
>1X108
大預抽真空, N2 hPa
2
2
2
Ar全轉速時氣體流量hPa l/s
11
11
6
H2 全轉速時氣體流量hPa l/s
>30
>30
>30
He全轉速時氣體流量hPa l/s
>30
>30
16
N2 全轉速時氣體流量hPa l/s
20
20
16
操作電壓 V AC
100-120 / 200-240
100-120 / 200-240
100-120 / 200-240
大電流 A
10
10
10
允許大磁場 mT
6
6
6
Ar抽速l/s
1200
1200
1200
H2 抽速l/s
1100
1100
1100
He 抽速 l/s
1300
1300
1300
N2 抽速l/s
1250
1250
1250
轉速 ± 2 % rpm
37800
37800
37800
啟動時間 min
2.5
2.5
2.5
極限真空 hPa
1X10-7
1X10-7
5X10-10
重量 kg
29.5
30.5
40.9
標準款渦輪分子泵 HiPace 1200 在售型號
高工藝適用性, 防止進入顆粒
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
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DN 200 ISO-K
另配 TCP 1200
TCP 1200
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DN 200 ISO-F
另配 TCP 1200
TCP 1200
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DN 200 CF-F
另配 TCP 1200
TCP 1200
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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渦輪分子泵 HiPace 1200 U 在售型號
安裝位置:高架 (90°-180°)
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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耐腐蝕渦輪分子泵 HiPace 1200 C 在售型號
專為腐蝕性氣體而設計, 帶有附有涂層轉子和耐腐蝕性氣體的工作流體, 非常適用於腐蝕性氣體應用
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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耐腐蝕, 90°-180°安裝位置渦輪分子泵 HiPace 1200 UC 在售型號
耐腐蝕,安裝位置:高架 (90°-180°)
進氣口
分子泵控制器
I/O接口
集成電源包
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 遠程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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分子泵應用 HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質涂層, 卷繞鍍膜, 光學鍍膜, CD / DVD / PVD
工業: 醫學技術, 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發: 聚變研究, 等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學, 生物技術
半導體: PVD, CVD, Beamline, MBE
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上海伯東: 羅女士 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
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