Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80
上海伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應用於真空行業. 集成驅動電路, 適用於工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據盡可能保證分子泵的性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風冷, 多種配件可選滿足廣泛應用.
渦輪分子泵 HiPace 80 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承係統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
渦輪分子泵 HiPace 80 技術參數
進氣口
DN 63
ISO-K
DN 63
CF-F
DN 40
ISO-KF
DN 63
ISO-K
DN 63
CF-F
DN 40
ISO-KF
圖片
分子泵控制器
型號
標配
TC 110
標配
TC 110
標配
TC 110
選配
TCP 350
選配
TCP 350
選配
TCP 350
抽速
Ar L/S
66
66
30
66
66
30
H2 L/S
48
48
38
48
48
38
He L/S
58
58
41
58
58
41
N2 L/S
67
67
35
67
67
35
壓縮比
Ar
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
H2
1.4X105
1.4X105
1.4X105
1.4X105
1.4X105
1.4X105
He
1.3X107
1.3X107
1.3X107
1.3X107
1.3X107
1.3X107
N2
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
1X1011
全轉速時氣體流量
Ar hPa l/s
0.54
0.54
0.54
0.54
0.54
0.54
H2 hPa l/s
15.3
15.3
15.3
15.3
15.3
15.3
He hPa l/s
2.7
2.7
2.7
2.7
2.7
2.7
N2 hPa l/s
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
極限壓力
hPa
＜1X10-7
＜5X10-10
＜1X10-7
＜1x10-7
＜5x10-10
＜1x10-7
大預抽真空
N2
22
22
22
22
22
22
電壓
± 5 %
VDC
24
24
24
24
24
24
大電流
A
4.6
4.6
4.6
5.5
4.6
4.6
轉速± 2 %
RPM
90000
90000
90000
90000
90000
90000
聲噪
dB(A)
48
48
48
48
48
48
允許大磁場
mT
3.3
3.3
3.3
3.3
3.3
3.3
啟動時間
min
1.7
1.7
1.7
3
3
3
重量
kg
2.4
3.8
2.4
2.1
3.5
2.1
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 80 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下並輕松調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:
分子泵
分子泵電源與控制器連接線
風扇
OmniControl 200
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
分子泵應用 HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
上海伯東客戶分子泵應用一：HiPace 80, HiPace 400 用於分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
上海伯東客戶分子泵應用二：HiPace 80, HiPace 300 用於SPECS 近常壓光電子能譜儀設備
上海伯東客戶分子泵應用三: HiPace 80, HiPace 300 用於自主搭建真空腔體
渦輪分子泵 HiPace 80 目前在售型號：
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
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