Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯東德國 Pfeiffer 適用於離子注入係統的渦輪分子泵 HiPace? 2800 IT.
在離子注入係統中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉子設計保證小分子氣體的更大抽速, 確保了針對離子注入工藝的適應性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s, 是同級別分子泵中佼佼者.
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 採用智能溫度管理係統, 減少泵係統內部的工藝冷凝和沉積, 該係統允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身性.
渦輪分子泵 HiPace? 2800 IT 產品優勢
1. 氫氣抽速高達 2600 l / s
2. 鍍鎳轉子更
3. 採用智能溫度管理係統,能自適應工藝條件, 減少泵內冷凝和沉積
4. 使用壽命更長
渦輪分子泵 HiPace? 2800 IT 技術參數
法蘭（進氣端）
DN 250 ISO-F
法蘭（出氣端）
DN 40 ISO-KF
排氣連接
G 1/8“
氮氣抽速
2,300 l/s
氬氣抽速
2,100 l/s
氦氣抽速
2,900 l/s
氫氣抽速
2,600 l/s
轉速
±2 % 27,300 rpm
運行時間
8.6 min
在全轉速情況下的氮氣氣流量
16 hPa l/s
在全轉速情況下的氬氣氣流量
11 hPa l/s
在全轉速情況下的氫氣氣流量
50 hPa l/s
在全轉速情況下的氦氣氣流量
24 hPa l/s
氮氣壓縮比
> 1X108
氬氣壓縮比
> 1X108
氦氣壓縮比
6X104
氫氣壓縮比
4X103
氮氣大前級真空
0.8 hPa
根據 PNEUROP 的極限壓力
< 1X10-7 hPa
重量
62 kg
冷卻方法
水
冷卻水耗量
100 l/h
冷卻水溫度
15 – 25 °C
接口
E74, RS-485
大允許磁場
3.4 mT
聲壓水平
< 50 dB(A)
渦輪分子泵 HiPace? 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝
渦輪分子泵 HiPace? 2800 IT尺寸
渦輪分子泵 HiPace? 2800 IT 在售型號
型號
訂貨號
HiPace 2800 IT
PM P05 241
HiPace 2800 IUT
PM P05 246
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