全磁浮渦輪分子泵 ATH 3204 M，對氮氣的抽速高可達 2800 l/s，水冷。外部分子泵驅動電路。全磁浮渦輪分子泵可以安裝在任何方向。CE標志和通過無鉛認證。全磁浮渦輪分子泵核心科技是五軸控制全磁浮軸承，免維護，無需潤滑，保證分子泵內部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉子的穩定性，在高速運轉過程中無摩擦，無磨損，低噪音低振動，可延長分子泵的使用壽命。
全磁浮渦輪分子泵 ATH 3204 M 多種配置可選 滿足不同需要：
1.兩種密封方式：DN 320 ISO-F/VG 350
2.另有可加熱款（抗腐蝕 ATH 3200 MT）供客戶選擇
全磁浮渦輪分子泵 ATH 3204 M 技術參數：
軸承
五軸控制全磁浮軸承
轉速
25000 min-1
對氮氣的壓縮比
> 1 · 10 8
大進氣壓力N2
2.1 hPa
對氮氣的抽速
2800 l/s
啟動時間
< 10 min
極限真空度
< 6 · 10-9 hPa
重量
85(分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg
全磁浮渦輪分子泵 ATH 3204 M 對不同氣體的抽速：
全磁浮渦輪分子泵 ATH 3204 M 對不同氣體的抽速：
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