殘餘氣體分析儀 PrismaPro_伯東貿易（深圳）有限公司

詳細信息

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作於一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空係統中的殘餘氣體成分. 低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易於係統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
氣密離子源型號可選, 適合與進氣係統組合使用, 具有低氣體消耗和高信噪比的特點.

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:

型號

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑／長度

6 / 125 mm

小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

小檢測極限 M hPa *1,2

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

大工作壓力 F hPa

5X10-4

大工作壓力 M hPa

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度電子

5 – 50 °C

烘烤溫度分析

300 °C (移除電子模塊)

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

重量

2.5 kg

3.2 kg

* 1  開放式離子源
* 2  停留時間 4秒
*3   與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 羅小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
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