殘餘氣體分析儀 Hicube RGA
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質量數範圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用於殘餘氣體分析, 過程監測, 泄漏檢測.
殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 優勢
殘餘氣體分析和氦氣泄漏檢測模式
可用於從大氣壓至高真空環境
高分辨率和靈敏度
通過真空壓力監測保護燈絲
進氣係統帶集成式切斷閥
Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 技術規格
渦輪分子泵組
HiCube? Eco
功耗
170W
電壓（範圍）
110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮氣抽速
67 l/s
前級泵在 50 Hz 時的泵送速度
1 m3/h
極限真空
<1X10-7 hPa
真空計
PKR 361
測量範圍
1X10-9 至 1X103 hPa
閥門
EVN 116
氣體流量
可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
進氣口
DN 16 ISO-KF
PrismaPro
QMG 250 F1
QMG 250 F2
QMG 250 F3
QMG 250 M1
QMG 250 M2
QMG 250 M3
檢測器
法拉第 Faraday (F)
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質量數 amu
1–100
1–200
1–300
1–100
1–200
1–300
四極桿直徑／長度
6 /125 mm
小檢測極限 F hPa *1,2
4X10-13
5X10-13
7X10-13
-
-
-
小檢測極限 M hPa *1,2
-
-
-
3X10-15
4X10-15
5X10-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3
5X10-4
4X10-4
3X10-4
5X10-4
4X10-4
3X10-4
大工作壓力 F hPa
5X10-4
大工作壓力 M hPa
-
-
-
5X10-5
5X10-5
5X10-5
對臨近質量數的影響*1
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
操作溫度 分析
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度 電子
5 – 50 °C
烘烤溫度 分析
300 °C
連接法蘭
DN 40 CF-F
保壓時間
1 ms – 16 s/amu
峰比值可重復性
± 0.5 %
接口
以太網
電源電壓
100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube? RGA重量
25.5 - 26.2 kg
殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 典型應用
殘餘氣體分析: 對真空係統中殘餘氣體的分析, 可以獲知在達到所需的終壓力或調節要求時, 殘餘物質的組成. 由此可以得出各種有關係統表面性質, 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結論. 這將為您提供有關真空室或真空組件狀態的重要信息.
泄漏檢測: 上海伯東 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測模式, 可以通過軟件控制激活. 此功能可以方便您發現真空係統中的任何泄漏.
過程監控: HiCube RGA 可以在大 300u 的測量範圍內隨時間觀察任意數量的選定質量強度, 並可對選定的各質量分配警報循環閾值. 如果它們高於或低於所需極限, 則可以通過數字輸出將信號提供給更別的控制係統. 因此殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空係統中的壓力適應相應過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對泄漏設定點進行快速開/關控制.
和過程優化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監測真空鍍膜過程相關氣體成分等能力, 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和中的重要工具. 即使測量正在執行, 所有測量值也會得到存儲, 並且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執行測量, 也可以導出測量結果以進行進一步分析.
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