Pfeiffer 高壓質譜分析儀 HPA 220
上海伯東銷售維修德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220，可協助客戶選型並提供售後服務。質譜分析儀新款上市，適合於所有的應用特別是高壓應用。
德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 組成：
l 四級質譜分析儀
l 手動或自動控制進樣閥門
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前級泵 MVP 020-3
l 標準真空腔體
l 全量程真空計 PKR 251
l 閥門控制單元 VCU 220
l 分子泵顯示器
l 軟體：Quadera + HPA Add-In
l 連接法蘭 DN 40 CF-F
l 電源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz
可選的附加組件：
1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規
德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 優點：
l 此款質譜分析儀操作組裝靈活，適用各種壓力範圍
l 簡單的係統集成 模組式組裝
l 高靈敏度 多路傳輸操作
l 操作直觀 提供廣泛的應用
德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 應用行業：
在一個壓力範圍內（1 x 10-7到50 hPa）進行過程分析、監控
1.真空鍍膜行業 2.半導體行業 3.光刻行業 4.冶金行業 5.真空爐 6.實驗研究
質譜分析儀 技術參數：
質量數（可選）
1-100 amu
1-200 amu
1-300 amu
質譜分析儀
QMA 220
前級泵
MVP 020-3
電源線長度（可選）
3m
10m
檢測
C-SEM/Faraday
C-SEM 小檢測極限
1X10-14 hPa
Faraday 小檢測極限
5X10-12 hPa
壓縮空氣
5-7 bar
進氣法蘭
DN 40 CF-F
工作壓力（可選）
1 hPa
8hpa
50hpa
四級桿直徑/長度
6 mm/ 100 mm
C-SEM 精度
200 A/hPa
Faraday 精度
5X10-4 A/hPa
電源
115-230 V
重量
15 kg
質譜分析儀 尺寸圖：
質譜分析儀 訂購選型：
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