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(3) ÀW²ví©w©Ê¡G<0.1% 
(4) ¿é¥X¥\²v¡G800¡Ð1200w 
(5) ¿é¥X¥\²ví©w©Ê¡G 0.3% 
(6) ¹qºÏ³õªnº|®g±j«×¡G¶Z¾÷¨­30cm 
   ¹q³õ±j«×E¡G<2V/m¡AºÏ³õ±j«×H¡G<0.2A 
¶i¼Ë¸Ë¸m:
(1) ¿é¥X¤u§@½u°é¤º®|25mm¡A3¥` 
(2) ¬²ºÞ¡G¤T¦P¤ßFassel«¬¡A¥~®|20mmªº¥Û­^¬²ºÞ 
(3) ¦P¶b«¬¼QÃú¾¹¥~®|6mm 
(4) Âùµ©§ÎÃú«Ç¥~®|35mm

(5) ´ã®ð¬y­p³W®æ©M¸ü®ðÀ£¤Oªí³W®æ¡G 
¡B µ¥Â÷¤lÅé¬y¶q­p¡]100-1000¡^L/h ¡F(1.6-16L/min) 
¡B »²§U®ð¬y¶q­p¡]10-100¡^L/h ¡F(0.16-1.66L/min) 
¡B ¸ü®ð¬y¶q­p¡]10-100¡^L/h ¡F(0.16-1.66L/min) 
¡B ¸ü®ðíÀ£»Ö¡]0-0.4MPa¡^

´ú¥ú¸Ë¸m:
(1) ¥ú¹q­¿¼WºÞ³W®æ¡G R212UH 
(2) ¥ú¹q­¿¼WºÞ­t°ªÀ£¡G200-1000V ¡Aí©w©Ê<0.05% 
(3) ¥ú¹q­¿¼WºÞ¹q¬y´ú¶q½d³ò¡G10-12 -10-4A 
(4) «H¸¹±Ä¶°¬°V/F¥æ´«¡G1mV¹ïÀ³100Hz

¤À¥ú¾¹:
(1) ¥ú¸ô: Czerny- Turner 
(2) µJ¶Z: 1000mm 
(3) ¥ú¬]³W®æ¡GÂ÷¤l¨è»k¥þ®§¥ú¬]¡A¨è½u±K«×2400½u/mm¡A

¨è½u­±¿n: 110¡Ñ110mm¡A½u¦â´²²v­Ë¼Æ¡G0.26nm 
(4) ªiªø½d³ò¡G190-500nm  
(5) ¤À¿ë²v: 0.01nm 
(6) ±½´yªiªø½d³ò2400½u/mm ±½´yªiªø½d³ò¡G190-800nm
(7) ¨B¶i¹q¾÷ÅX°Ê¤p¨B¶Z¡G0.0005nm 
(8) ¤J®g¯UÁ_¡G20?m   ¥X®g¯UÁ_¡G25?m
(9) µo®gÃè³W®æ¡G¡]105 ¡Ñ 105 ¡Ñ 16¡^mm 
(10) ³zÃè 30¡A1¡G1¦¨¹³

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