（1）應用領域
計量領域（平面平晶檢測），
半導體工業（晶片檢測），
大平板顯示（平面檢測），
手機工業（背板檢測）,
光學加工（窗口玻璃檢測），
精密機械（平面元件檢測）,
LED工業（藍寶石襯底檢測），
數據存儲和科研院校教學儀器等多種領域。
平面平晶、窗口玻璃、光學平面、金屬平面、陶瓷平面等 光滑表面面形的快速測量，90°直角棱鏡和角錐測量。
（2） 產品綜述
無應力平面檢測幹涉儀是模塊化組合檢測幹涉儀中的一種，
它採用組合式激光幹涉儀作為核心部件，主要用於檢測平面。
該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際水平, 採用更加簡便操作的俯式測量，擁有的測量精度和測量重復性，
突破了一等平面平晶限制，且其採樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。 不僅測量精度高，而且具有的測量效率。
此款幹涉儀可廣泛應用光學元件制造、計量檢測、生物醫學、
航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域 具有廣闊的市場前景。
（3） 參數性能
測量原理：
斐索幹涉原理
光源波長：
632.8nm
樣品準直：
使用兩個光點
電源:
220V 50HZ /11 0V 60HZ
操作係統：
Windows7/10, 32/64bit
CCD分辨率：
1280*960像素
軟件：
H&L-p數字化相移分析軟件
精密度：
/600 PV
重復性：
入/500 PV
重復性：
入/1000 RMS
透射平面鏡精度：
A/20 PV