品牌 | ALICAT |
產地 | 美國 |
Alicat的23係列質量流量控制器是根據真空涂層和噴濺過程中所要求快速關閉功能而設計的。一個啟動截止閥是常閉的,並且保證一個大氣壓下氦氣大泄露為1 x 10-9下有效的關閉。
特點和優點 ·響應時間50-100ms ·量程 0.5sccm-20slpm · 模擬和數字通信(可選PROFIBUS) ·30種預設定校準氣體 · 精度±0.8% 的讀數±0.2% 滿刻度 · 可選±0.4% 的讀數±0.2% 滿刻度 · 操作量程1%-100% ·數字顯示質量流量、體積流量、絕壓和溫度 ·無預熱時間 · 小巧設計,方便替換其他設備 · 保證標準大氣壓下氦氣大泄露1 x 10-9的氣動截止閥 · 終身維修