綠碳化硅是以石油焦和硅石為主要原料,添加食鹽作為添加劑，通過電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介於剛玉和金剛石之間,機械強度高於剛玉。綠碳化硅含SiC99％以上，自銳性好，大多用於加工硬質合金、鈦合金和光學玻璃，也用於珩磨氣缸套和精磨高速鋼刀具、硬質合金模具類金屬。此外還有立方碳化硅，它是以特殊工藝制取的黃綠色晶體，用以制作的磨具適於軸承的超精加工，可使表面粗糙度從Ra32∼0.16微米一次加工到Ra0.04∼0.02微米。