| 品牌 | CL-晨立 |
產品特點：
◆閉管式擴散係統，有效降低生產成本，更潔凈、更環保
◆石英舟採用軟著陸送片，高可靠性
◆工業計算機控制係統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
◆採用懸臂送片器，操作方便、無摩擦污染等
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種保護功能
◆控溫精度高，溫區控溫穩定性好
◆關鍵部件均採用進口，確保設備的高可靠性
◆高質量的加熱爐體，確保恒溫區的高穩定性及長壽命
主要技術指標
◆工作溫度：400～1100℃
◆有效口徑：適應石英管外徑 320mm
◆裝片數量：400片/管
◆工藝管數量：1～4管（可選擇）
◆恒溫區長度： 1100mm（可根據用戶要求定制）
◆恒溫區精度： ±1℃（600～1100℃）
◆單點溫度穩定性： ±1℃/24h（600～1100℃）
◆溫度斜變能力： 大可控升溫速度：15℃/min(300～1300℃) 大降溫速度： 5℃/min (1300～900℃)
◆實時顯示工藝過程恒溫區內前、中、後三點的實際溫度
◆送片方式：採用懸臂送片器，進退舟速度5mm/min～1000mm/min連續可調
◆凈化臺潔凈度：100級
