詳細信息
產品應用:主要用於2∼6英寸鍺單晶、砷化鎵等化合物晶體的生長
產品特點:
◆工業計算機控制係統(WINDOWS 係統界面,操作方便簡潔)
◆關鍵部件均採用進口,確保設備的高可靠性
◆控溫精度高,溫區控溫穩定性好
◆具有斷電報警、超溫/欠溫報警、極限超溫報警等多種保護功能
◆晶體生長均勻性好、重復性高主要技術指標
◆工作溫度:600∼1280℃
◆適應晶體尺寸:2∼6英寸
◆裝料量:10Kg/爐
◆加熱控制:7段控制
◆溫區長度:800mm±0.5℃(1000∼1280℃)
◆大升溫速率:15℃/min
◆升降行程:900mm
◆小升降速率(VB):0.1mm/h 配套設備:合成爐、鑄錠爐、脫氧封管爐等