ASML 4022.636.32221

©Ò¦b¦a¡G ºÖ«Ø¬Ù ¹ç¼w¥«
µo¥¬®É¶¡¡G 2025-04-04
¸Ô²Ó«H®§

ASML 4022.636.32221ªü´µ³Á

ASML 4022.636.32221ªü´µ³Á²¤¶¤Î°Ñ¼Æ¸Ô¸Ñ


ASML 4022.636.32221¬OASML¤½¥q¬ãµoªº¤@´Úºë±K¥ú¾Ç²Õ¥ó¡A§@¬°ÃöÁ䳡¥ó¼sªxÀ³¥Î©ó¥b¾ÉÅé¨î³y³]³Æ¤¤¡C¹ç¼w¼íùڦ۰ʤƧ@¬°ASMLªº±ÂÅv¨ÑÀ³°Ó¡A±Mª`©ó¬°¸Ó«¬¸¹²£«~´£¨Ñí©w¥i¾aªº¨ÑÀ³¤Î§Þ³N¤ä«ù¡C¥H¤U¬O¸Ó²£«~ªº¸Ô²Ó¤¶²Ð¤Î®Ö¤ß°Ñ¼Æ¡G



¤@¡B²£«~·§­z

¡´ 


¨î³y°Ó¡GASML¡]²üÄõ¥b¾ÉÅé³]³Æ¥¨ÀY¡^


¡´ 


«¬¸¹¡G4022.636.32221


¡´ 


©w¦ì¡G¥ú¾Ç¼Ò¶ô¡A¥Î©ó·¥µµ¥~¡]EUV¡^¥ú¨è¾÷ªº®Ö¤ß«Y²Î


¡´ 


¥\¯à¡G¹ê²{¯Ç¦Ì¯Å¥ú¨è¤uÃÀ¤¤ªº¥ú§ô½Õ±±»P©w¦ì¡A«O»Ù´¹¶ê¨î³y¹Lµ{¤¤ªº°ª¤À¿ë²v¦¨¹³



¤G¡B®Ö¤ß°Ñ¼Æ

1. 


¥ú¾Ç©Ê¯à


¡³ 


¤À¿ë²v¡G¤ä«ù 13nm¤uÃÀ¸`ÂI¡]º¡¨¬¥ý¶iªä¤ù¨î³y»Ý¨D¡^


¡³ 


ªiªø½d³ò¡G13.5nm¡]EUV¥ú·½¡^


¡³ 


³z¹L²v¡G 98%¡]Àu¤Æ¥ú¯à§Q¥Î²v¡^


2. 


¾÷±ñ©Ê¯à


¡³ 


¤Ø¤o¡G¬ù320mm¡Ñ240mm¡Ñ150mm¡]¨ãÅé¨Ì°t¸m½Õ¾ã¡^


¡³ 


­«¶q¡G¬ù15kg¡]»´¶q¤Æ³]­p¡^


¡³ 


­«´_©w¦ìºë«×¡G 0.5£gm¡]«O»Ù³]³Æªø´Áí©w¹B¦æ¡^


3. 


¹q®ð¯S©Ê


¡³ 


¤u§@¹qÀ£¡G24VDC¡Ó5%


¡³ 


¥\¯Ó¡G 50W¡]§C¯à¯Ó³]­p¡^


¡³ 


³q°T±µ¤f¡GEtherCAT/CANopen¡]­Ý®e¥D¬y¤u·~¦Û°Ê¤Æ¨óij¡^


4. 


Àô¹Ò¾AÀ³©Ê


¡³ 


¤u§@·Å«×¡G20¢J¡Ó2¢J¡]ùÚ·ÅÀô¹Ò¡^


¡³ 


Àã«×­n¨D¡G 45%RH¡]ÁקK¥ú¾Ç¤¸¥óµ²ÅS¡^


¡³ 


¼äÐä«×µ¥¯Å¡GISO Class 3¡]¾A°t¥b¾ÉÅéµL¹Ð¨®¶¡¡^



¤T¡B§Þ³NÀu¶Õ

¡´ 


¡G±Ä¥ÎASML±M§QªºEUV¥ú¾Ç§Þ³N¡A½T«O¯Ç¦Ì¯Å¨îµ{ªº¦¨¹³½è¶q


¡´ 


°ªÃ­©w©Ê¡G¤º¸m¦h­«¶Ç·P¾¹¹ê®ÉºÊ´ú¹B¦æª¬ºA¡A°t¦X³¬Àô±±¨î«Y²Î¹ê²{¨È·L¦Ì¯Å­«´_ºë«×


¡´ 


§CºûÅ@»Ý¨D¡G¼Ò¶ô¤Æ³]­p«K©ó§Ö³t§ó´«»PºûÅ@¡A©µªø³]³Æ½[°Ê®É¶¡



¥|¡BÀ³¥Î»â°ì

¸Ó²Õ¥ó¥D­nÀ³¥Î©ó¡G


¡´ 


EUV¥ú¨è¾÷¡G§@¬°®Ö¤ß¥ú¾Ç³¡¥ó¡A§U¤O7nm¤Î¥H¤U¨îµ{ªä¤ùªº¶q²£


¡´ 


¥b¾ÉÅé´¹¶ê¨î³y¡G¤ä«ùÅÞ¿èªä¤ù¡B¦sÀxªä¤ùµ¥¥[¤u³õ´º



¤­¡B¹ç¼w¼íùڦ۰ʤƪA°È

¡´ 


¨ÑÀ³«O»Ù¡Gªø´Á®w¦s+§Ö³t¥æ¥I¡AÁYµu«È¤á±ÄÁÊ©P´Á


¡´ 


§Þ³N¤ä«ù¡G´£¨Ñ¦w¸Ë½Õ¸Õ¡B¬G»Ù¶EÂ_¤Î³Æ¥ó¤É¯Åµ¥¥þ¥Í©R©P´ÁªA°È


¡´ 


¡G100%­ì¼t¥¿«~¡A¨É¨üASML©x¤è½è«O



³q¹L¥H¤W«H®§¡A¹ç¼w¼íùڦ۰ʤƭP¤O©ó¥HASML 4022.636.32221¬°®Ö¤ß¡A¬°¥b¾ÉÅé²£·~«È¤á´£¨Ñ¡Bí©wªº³]³Æ¤ä«ù¡A§U¤O¤¤°êªä¤ù¨î³yÁÚ¦V§ó»P²£¯à¡C



ASML 4022.636.32221ªü´µ³Á


Áp«Y¤è¦¡
ªð¦^®iÆU