碳化硅清洗劑 碳化硅晶片清洗劑

所在地: 廣東省 深圳市
發布時間: 2025-03-12
詳細信息

碳化硅拋光片清洗劑 碳化硅晶片清洗劑 碳化硅襯底清洗劑 半導體硅片清洗劑

產品概述:

碳化硅拋光片清洗劑SC181是我司專為碳化硅晶片超精密加工研發的水基清洗劑,可以清除碳化硅晶片表面的微塵、細微顆粒物、有機物、金屬離子、金屬氧化物、殘留拋光液等污染物。

利用化學剝離的原理有效將鍵入在硅片表面的各種污染物去除,清洗劑中的活性物質可以吸附在硅片表面,使其長期處於易清洗的物理吸附狀態(>120h),而不像難清洗的化學吸附狀態轉化,並在表面形成保護層,防止顆粒的二次吸附,實現了把有害吸附轉化為無害吸附,有效提高外延或擴散工序的成品率。主要應用於各種硅片切割與研磨拋光後的清洗。

應用領域:

碳化硅清洗劑SC181用於半導體芯片、硅片、元器件、薄膜技術中的玻璃和金屬表面浸漬、噴淋、超聲波的清洗。

產品特點:

1.能快速清洗產品表面的硅粉、細小顆粒物,清除金屬離子、氧化物、拋光液殘留;

2.清洗後產品良率可達99.8%;

3.對工件表面無腐蝕,無殘留,不變色,無斑白點,潔凈度高;

4.不影響導電性能,不損傷電路及芯片鍍膜層;

5.滲透、去污力強,適合於形狀復雜電子零部件及深孔部件;

6.污垢殘留物經清洗、剝離後沉底,增強了循環使用的壽命;

7.無毒,無閃點,不燃不爆,使用;

8.水基環保,可做到零排放、可生物降解,符合 ROHS 指令。

 

物性參數:

碳化硅清洗劑SC181

外觀

無色至微黃色液體

比重

1.02±0.02

水溶性

易溶解

PH

6.0-7.0

不可燃、無腐蝕

操作工藝:

清洗殘留顆粒物:碳化硅清洗劑SC181原液1:5-10兌水稀釋使用,需加溫40-60℃,超聲波清洗5-10分鐘;

清洗殘留研磨液:超聲波清洗設備超聲振動,根據臟污情況原液使用,或兌水稀釋5-10倍使用;

適用於多晶硅、單晶硅、硅片及相關的硅片及延伸產品浸漬、噴淋清洗處理。超聲波效果更佳。

注意事項:

清洗後的碳化硅晶片應儲存在防塵的容器中,避免再次受到污染。

產品包裝、貯存和運輸:

塑料桶包裝: 25KG/桶,非危險品易於儲存和運輸;

貯存期兩年,不能露天存放,防止日曬雨淋;

未使用完的清洗劑須將桶蓋擰緊,避免水分及雜質混入。


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