碳化硅拋光片清洗劑 碳化硅晶片清洗劑 碳化硅襯底清洗劑 半導體硅片清洗劑
產品概述:
碳化硅拋光片清洗劑SC181是我司專為碳化硅晶片超精密加工研發的水基清洗劑,可以清除碳化硅晶片表面的微塵、細微顆粒物、有機物、金屬離子、金屬氧化物、殘留拋光液等污染物。
利用化學剝離的原理有效將鍵入在硅片表面的各種污染物去除,清洗劑中的活性物質可以吸附在硅片表面,使其長期處於易清洗的物理吸附狀態(>120h),而不像難清洗的化學吸附狀態轉化,並在表面形成保護層,防止顆粒的二次吸附,實現了把有害吸附轉化為無害吸附,有效提高外延或擴散工序的成品率。主要應用於各種硅片切割與研磨拋光後的清洗。
應用領域:
碳化硅清洗劑SC181用於半導體芯片、硅片、元器件、薄膜技術中的玻璃和金屬表面浸漬、噴淋、超聲波的清洗。
產品特點:
1.能快速清洗產品表面的硅粉、細小顆粒物,清除金屬離子、氧化物、拋光液殘留;
2.清洗後產品良率可達99.8%;
3.對工件表面無腐蝕,無殘留,不變色,無斑白點,潔凈度高;
4.不影響導電性能,不損傷電路及芯片鍍膜層;
5.滲透、去污力強,適合於形狀復雜電子零部件及深孔部件;
6.污垢殘留物經清洗、剝離後沉底,增強了循環使用的壽命;
7.無毒,無閃點,不燃不爆,使用;
8.水基環保,可做到零排放、可生物降解,符合 ROHS 指令。
物性參數:
碳化硅清洗劑SC181
外觀
無色至微黃色液體
比重
1.02±0.02
水溶性
易溶解
PH
6.0-7.0
性
不可燃、無腐蝕
操作工藝:
清洗殘留顆粒物:碳化硅清洗劑SC181原液1:5-10兌水稀釋使用,需加溫40-60℃,超聲波清洗5-10分鐘;
清洗殘留研磨液:超聲波清洗設備超聲振動,根據臟污情況原液使用,或兌水稀釋5-10倍使用;
適用於多晶硅、單晶硅、硅片及相關的硅片及延伸產品浸漬、噴淋清洗處理。超聲波效果更佳。
注意事項:
清洗後的碳化硅晶片應儲存在防塵的容器中,避免再次受到污染。
產品包裝、貯存和運輸:
塑料桶包裝: 25KG/桶,非危險品易於儲存和運輸;
貯存期兩年,不能露天存放,防止日曬雨淋;
未使用完的清洗劑須將桶蓋擰緊,避免水分及雜質混入。