| 品牌 | FEI |
| 規格 | 正常規格 |
| 產地 | 美國 |
Nova 係列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實驗室、半導體和數據存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學實驗室及其他行業各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 係統包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。真實的納米尺度信息，的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對大多數帶電或污染樣品進行分辨率研究。這些均為 Nova? NanoSEM 場發射掃描電鏡多年前即已具備的基本特徵。
Nova NanoSEM係列產品除先進的光學（包括雙模終透鏡）、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內探測和射束減速的強大組合功能之外，採用了新一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測器的全新套件，並具備多功能SE/BSE 過濾功能，大程度地優化重要信息。智能掃描模式可用於大程度減少假像。樣品清潔對於低電壓高分辨率成像至關重要，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免於碳氫化合物污染）加以維護。NovaNanoSEM 450 配置了高 200 nA 射束電流和大型電動傾斜樣品臺，分析能力因此也大幅提升。均不會影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。
Nova NanoSEM 50 係列產品可使用其的低真空能力表徵或分析更多樣品，包括大多數非導電或污染材料。由於 FEI Helix? 探測器技術，低真空表徵可一直擴展至分辨率。大小樣品均可輕易置入大型樣品室，並置於 Nova NanoSEM 高度且穩定的樣品臺上。此外，高清相機和相關導航裝置可幫助迅速發現興趣所在區域並移至相應區域。
至於 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 係列產品可提供的整合工具集合，包括 16 位板載數字圖案生成器和制圖軟件、高速靜電射束熄滅裝置以及用於直接電子束寫入式納米結構的氣體注射係統。Nova NanoSEM 650 樣品臺配置了壓電驅動馬達，可在 150 x 150 mm 移動範圍內完全實現更細致且更高的 XY 可重復性