| 品牌 | 戈德爾 |
| 規格 | WB300 |
| 材質 | 金屬 |
| 產地 | 山東招遠 |
| 等離子發生器 | 頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續調節 |
| 外形尺寸 | 1000(W)×800(D)×1750(H)mm |
| 倉體結構 | Φ 245mm ×400Lmm |
| 控制係統 | 觸摸電腦+PLC全自動控制 |
| 真空係統 | 真空壓力PID閉環自動控制 |
| 充氣係統 | 2路氣體配制 |
WB300微波等離子清洗機採用高密度微波等離子技術，用於半導體生產中晶圓的清潔和等離子體預處理，微波等離子高度活性、，且不會對電子裝置產生離子損害微波等離子清洗機具有高度活性、，且不會對電子裝置產生離子損害。
微波等離子清洗機主要用途：
·等離子體表面改性
·有機物表面等離子體清潔
·邦定強度增強
·等離子體刻蝕應用
·等離子體灰化應用
·增強或減弱浸潤性
·其它等離子體係統應用
◆ 控制係統
觸摸電腦+PLC全自動控制,採用歐姆龍、西門子品牌電器元件，性能穩定可靠,並具有手動、自動兩種模式
◆ 真空係統(真空壓力PID閉環自動控制)
英國愛德華斡旋式幹泵 GV40
◆ 充氣係統
美國MKS電子質量流量計(2路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件